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华卓精科荣获2018年度北京市科学技术一等奖

布人:北京华卓精科科技股份有限公司 布时间:众发娱乐app官方下载-03-02 浏览次数:3591


     众发娱乐app官方下载年3月1日上午,北京市委、市政府隆重召开2018年度北京市科学技术奖励大会暨众发娱乐app官方下载年全国科技创新中心建设事情会议。市委书记蔡奇,市委副书记、市长陈吉宁等领导为科技事情者颁奖,对他们为全国科技创新中心建设作出的孝敬致以崇高敬意和热烈祝贺。


      由清华大学及北京华卓精科科技股份有限公司配合完成的“纳米运动精度光刻机超精密双工件台技术与应用荣获2018年度北京市科学技术奖一等奖。




完成单位:清华大学  北京华卓精科科技股份有限公司

完成人:朱煜 张鸣 杨开明 胡金春 成荣 李鑫 胡楚雄 尹文生 徐登峰 穆海华 王磊杰 张利 胡海 张永刚 李晓通

结果介绍:

我国集成电路财产展受制于集成电路制造装备,尤其是技术难度最高、最核心的装备—光刻机。该结果是由清华大学IC装备团队历经十五年的研究攻关,突破了纳米运动精度超精密光刻机双工件台系列要害技术,获授权明专利126项、其中授权美国专利13项。华卓精科通过专利技术转让与技术转移,实现了光刻机双工件台的产物化、财产化,标记着我国成为世界上第二个掌握这一顶尖技术的国家。

同时,华卓精科通过对该结果相关的超精密机械设计、超精密丈量、纳米运动精度控制等技术的推广与应用,研出头向高端制造装备的系列化精密运动系统,支撑华卓精科快速展为国内领先的中高端运动系统提供商。华卓精科研的高性能运动系统已批量应用于半导体制造、生物检测等行业,实现直接经济效益2.3亿元,通过推广应用实现间接经济效益7.45亿元。

据悉,2018年共有212项结果荣获北京市科学技术奖,包罗一等奖24项,二等奖58项,三等奖130项。这些结果办事创新型国家建设,面向国际前沿热点领域,支撑经济高质量展,全面提升了全国科技创新中心的引领性和影响力。


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